以及微反映安装、配气战混气体系、镀膜设施、

  气体质量流量节制器和流量计工做道理 流量传感器采用毛细管传热温差量热法道理丈量气体的质量流量(无需温度和压力弥补)。将传感器加 热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量丈量电压取设定电压进行比力,再将差值信号放大 后去节制调理阀,通过闭环节制来节制通过的流量,并使之取设定的流量相等。分流器决定从通道的流量。 左图为 MFC 和流量显示仪毗连后的工做道理图: (将该地址复制粘贴到网叶地 址栏里) 节制器输出的流量检测到的电压取流过通道的气体质量成反比。满量程检测输出电压为 5VDC。气体 质量流量节制器的检测范畴为 2~100%满刻度(量程比为 50:1) ,流量分辩率为 0.1%满刻度。 留意: 气体质量流量节制器的“阀控”线置于“清洗”位时也能够当成气体质量流量计利用。这时,流量检测 输出电压的输出值可能达到 10VDC 以上。需要留意的是,一旦输出电压跨越 5VDC,流量检测电压和现实 通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不精确的,并且还可能呈现流量增大、显示减小的现 象,但这些不会损坏质量流量节制器。 2、气体质量流量计和气体质量流量节制器布局 (将该地址复制粘贴到网叶地址栏里) 气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度弥补电构成。添加电磁阀和 PID 节制电就形成了流量节制器。 3、气体质量流量节制器和气体质量流量计的使用范畴 MFC 和 MFM 可普遍地使用于石油化工、半导体和集成电、特种材料学科、医药、环保和实空等多 种范畴的科学研究和出产中,其典型使用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、 离子注入和溅射,以及微反映安拆、配气和混气系统、镀膜设备、光纤、气相色谱仪以及其它阐发仪 器。 使用对象:质量流量节制器使用系统集成商、特殊气体厂商、实空元件供应商、实空系统集成商、特 殊气体厂商、实空元件供应商、实空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体拆卸流水线集 成商、大学尝试室、气体公司、研

  气体质量流量节制器和流量计工做道理_消息取通信_工程科技_专业材料。气体质量流量节制器和流量计工做道理 流量传感器采用毛细管传热温差量热法道理丈量气体的质量流量(无需温度和压力弥补)。将传感器加 热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量丈量电压取设定电压进行比